爱游戏平台游戏:上海集成电路配备资料工业立异中心请求晶圆转速检测设备及晶圆整理洗刷设备专利防止无法检测转速

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  国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司请求一项名为“晶圆转速检测设备及晶圆整理洗刷设备”的专利，公开号CN121347842A，请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现，本请求触及一种晶圆转速检测设备及晶圆整理洗刷设备，其包含：支撑组件、位移补偿组织、测速传感器以及测速轮；支撑组件包含支撑轴以及支撑座，支撑座具有装置孔，支撑轴支撑在支撑座上，且装置孔的孔口朝向支撑轴；位移补偿组织置于支撑座的装置孔中，用于对支撑轴发生向上的补偿力，补偿力包含弹力以及气浮力；测速轮滚动设置在支撑轴上，用于与晶圆触摸以被晶圆带动而旋转；测速传感器设于支撑座上，用于检测测速轮的转速。本请求，可以对支撑轴进行向上支撑力的补偿，保证测速轮与晶圆坚持触摸，防止无法检测晶圆转速。

  天眼查资料显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司，成立于2020年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。经过天眼查大数据分析，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司参加招投标项目79次，产业线条，此外企业还具有行政许可211个。

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