爱游戏平台游戏:合肥领航微体系请求根据TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺专利传感器具有高分辨率特色

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  国家知识产权局信息数据显现，合肥领航微体系集成有限公司请求一项名为“一种根据TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺”的专利，公开号CN121057489A，请求日期为2025年7月。

  专利摘要显现，本发明触及半导体工艺技术领域，特别触及一种根据TFT晶体管的超声波传感器及其制备工艺，包含基底，基底的正面成长上缓冲层，上缓冲层的正面成长TFT晶体管；上压电层的正面设置在TFT晶体管的正面；制备工艺包含：在基底的正面成长上缓冲层；在上缓冲层成长TFT晶体管；制备MEMS芯片；将MEMS芯片的正面键合在TFT晶体管的正面，将MEMS芯片中的衬底抛光去除。本发明优先选用PZT资料，选用射频磁控溅射成长获取压电层，选用键合工艺把压电层设置在TFT晶体管上，充沛的使用PZT薄膜资料压电功能高、工艺兼容性强的特色，发挥射频磁控溅射工艺优势，使得压电层具有十分杰出的压电功能和机械功能，传感器具有高分辨率，高信噪比，高灵敏度，高穿透性的特色。

  天眼查资料显现，合肥领航微体系集成有限公司，成立于2022年，坐落合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本754.299万人民币。经过天眼查大数据分析，合肥领航微体系集成有限公司参加招投标项目3次，产业线条，此外企业还具有行政许可4个。

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